特点

带有气体采样流量自动控制功能

LCD显示，现场状态一目了然

实现小型、轻量化

可简单地更换传感器和采样气路

带有防止传感器单元错误插入的功能

可以设定多样的维护模式

组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等

实现了用PDA读取数据

符合CE规格，SEMI规格

规格

型号	PS-7
标准型	附带转换器组件型
检测原理	•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 •热分解+定电位电解式
采样方式	泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自动控制）
采样配管	特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内
气体浓度显示	液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图

报警接点	•气体报警（1段以及二级） 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 •流量降低报警 堵塞指示显示：流量显示为低速运转 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 •传感器故障报警/传感器误插入报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警：黄色LED指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示
外部输出	气体浓度模拟输出 DC4~20mA（与电源的负极通用） 气体报警接点（1段以及两极） 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 （开路集电极/自动复位）
适合电缆线	控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露）
使用电源	DC24V±10%
消耗电力	约7w
尺寸	•W62xH124xD143mm(除去突起物) •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
重量	约1.0kg
安装方法	壁挂式