型       号

检测对象气体

 H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

检测气体名称

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气

AsH₃    PH₃       B₂H₆      SiH₄       H₂

可检测泄漏量

H_{2：5.07×10-7、}AsH_{3 ：2.53×10-7、}B₂H_{6:1.01×10-7、}   SiH_{4:2.53×10-7、}PH_{3:1.52×10-7、}

可检测浓度

（单位：ppm）

AsH_{3 ：}0.5   PH_3: 0.3   B₂H_6: 0.2    SiH_4: 0.5   H_2： 1.0

反应时间

10秒以内

电源（额定）

5号碱性干电池(LR6)2节

电池使用时间

约12小时（5号碱性干电池、25℃时）

保护等级

相当于IP22

使用压力范围

大气压（800-1100hPa）

使用温度范围

0-40℃/85%RH以下（但是，不能结露）

尺寸

约W38×H130×D32mm（突出部分除外）

重量

约190克（含电池、皮套）